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1. CoW — 미세배선 · 인터포저

전체 공정 흐름
① 미세배선 · 인터포저
→
CoW 본딩
→
oS · 기판 부착
→
몰딩 · 언더필
→
전기적 테스트
→
출하
01 / 05 기반 구조 준비 스퍼터(PVD)
수직 경로 비교 05단계에서 전환됩니다 · 123
실리콘 기판 · 캐리어 개념 단면도 · 층 두께 과장 배리어 · 시드층 감광막 · 유전체 (몰드) 포토마스크 · 노광 몰드 몰드 몰드 전해 도금 · Bottom-up 성장 과성장 · 단차 제거 대상 노출 시드 잔류 = 쇼트 · 누설 평탄화 — 다음 층 노광 초점 결정 CMP HEAD 평탄 표면 이 거리를 잇는다 GPU · ASIC HBM 스택 마이크로 범프 미세배선 = 실리콘 실리콘 인터포저 TSV 전면 관통 fine pitch RDL 인터포저 TSV 없음 뚫을 실리콘 부재 wide pitch LSI 브리지 LSI 내부 TSV RI (몰딩 인터포저) TIV wide pitch C4 범프 유기 기판 (ABF) — oS 단계 · step 1 범위 밖 —

기반 구조 준비

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투자 포인트

—

실리콘 · LSI
시드층
감광막 · RDL 유전체
Cu 배선 · 비아 · 범프
몰딩 (RI)
제거 대상
←→ 단계 123 S / R / L Space 재생 R 처음부터

차이는 하나 — 미세배선을 누가 그리느냐

셋 다 인터포저는 있다. 다른 건 실리콘을 어디에 쓰느냐다

구분CoWoS-SCoWoS-RCoWoS-L
인터포저실리콘 슬래브RDL 스택 자체RI = RDL 양면 + 몰딩 + LSI
미세배선 담당실리콘 전면RDLLSI 브리지 서브미크론 Cu
RDL 피치—finewide
수직 경로TSV · 전면 관통없음 · 층간 비아TIV + LSI 내부 TSV
한계면적 ↑ → 수율 급락RDL 미세도 = 대역폭 한계스텝 수 · LSI KGD
셋 다 인터포저는 있다

없는 건 인터포저가 아니라 실리콘이다. R의 인터포저는 RDL 스택 그 자체 — TSMC 명명도 RDL interposer. "RDL 밑에 인터포저가 따로 있다"는 오해다.

L은 실리콘을 뺀 게 아니라 조각냈다

LSI의 메탈 종류·층수·피치는 CoWoS-S와 같은 급이다. 대면적 실리콘 대신 작은 브리지만 쓰므로 수율 리스크가 작고, 그래서 면적을 더 키울 수 있다.

대면적 · CoPoS의 주력은 L

R은 fine pitch RDL이 필요해 대면적화에 불리하다. L은 미세배선을 LSI에 넘기고 RDL을 wide pitch로 쓰므로 패널 확장에 유리하다.

TSV 수요는 안 줄어든다

HBM 내부 TSV는 항상 존재하고 SoIC도 TSV를 쓴다. TSV 수요 ≈ HBM 단수 × 출하량. 인터포저 TSV만 S 믹스에 연동된다.

층수가 오르면 수율은 곱해진다

층당 99% 가정 · 개념 산술 모델

99.0%1층
98.0%2층
96.1%4층
94.1%6층
92.3%8층

wpm을 늘려도 층수 증가와 패키지 대형화가 그 이득을 먹는다. 캐파를 단순 연환산해 공급 과잉을 논하는 시각이 놓치는 지점.

이 단계의 주요 플레이어

단계별 장비 · 소재 · 글로벌 / 국내

공정 단계
글로벌
국내
01기반 구조 준비
Applied Materials · Ulvac · Evatec PVD
제한적 해외 과점
02코팅 · 패터닝
TEL · SCREEN 코터 · Canon · Nikon 스테퍼 · 도레이 · HD마이크로 · JSR PI/PBO
동진쎄미켐 PR · 일부
03Cu 배선 형성
ASMPT NEXX AMAT 인수 진행 · Lam SABRE · Ebara
사실상 부재 병목 구간
04식각 · 평탄화
Lam · TEL · SCREEN 스트립·습식 · AMAT · Ebara CMP
PSK 애싱 · 케이씨텍 CMP · 솔브레인 습식
05다층 RDL · 수직 경로
TSMC 인터포저 내재화 · Amkor(HDFO) · ASE(FOCoS) 자체 트랙 · EVG · TOK 임시본딩(TSV)
하나마이크론 · SFA반도체 후공정 확장

So What

한 줄 결론

CoW의 본질은 '붙이기'가 아니라 '그리기'다 — 누가 그리느냐(실리콘 / RDL / LSI)가 구조를 가르고, 돈은 OSAT보다 전공정 장비·소재로 먼저 흐른다. TSV 수혜는 캐파가 아니라 S 믹스와 HBM 단수를 따라간다.

투자 두께 해외 장비 과점(도금·CMP·PVD·스테퍼) ≫ 해외 소재(PI/PBO) > 국내(케이씨텍·PSK·솔브레인) > 국내 OSAT — 국내 순수 수혜는 얇고 04단계에 집중.