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4. 검사 · 계측

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웨이퍼 위 다이 스캔
① 웨이퍼·Die 결함검사
패키징에 들어가기 전, 웨이퍼와 개별 다이를 스캔해 결함을 걸러낸다. 양품 다이(KGD, Known Good Die)만 다음 공정으로 넘겨야 값비싼 패키지 폐기를 막는다.
검사 포인트
패턴 결함 · 파티클 · 스크래치 · 다이 양불 선별
이 단계의 주요 플레이어
KLAOnto
Die 표면 범프(위) + RDL 배선(아래)
② 범프·RDL 형성
칩 표면에 마이크로 범프(초소형 땜납 돌기)를 세우고, 재배선층(RDL)으로 신호를 원하는 위치로 끌어낸다. 수천 개의 초미세 배선이 만들어지는 단계.
검사 포인트
범프 높이·공면성(coplanarity) · RDL 선폭 · 미세 결함
이 단계의 주요 플레이어
KLAOntoCamtek
실리콘 인터포저 수직 관통 배선(TSV)
③ 인터포저·TSV
실리콘 인터포저에 수직 관통 배선(TSV)을 뚫어 위·아래 층을 연결한다. 여러 칩을 초근접·초고밀도로 잇는 CoWoS의 '고속도로' 역할.
검사 포인트
TSV 깊이·정렬 · 인터포저 두께 · 휨(warpage)
이 단계의 주요 플레이어
KLAOnto
인터포저 GPU HBM 스택
④ 칩적층·본딩 (CoWoS·HBM)
GPU 로직과 HBM 메모리 스택을 인터포저 위에 나란히 초근접 배치·접합한다(Chip-on-Wafer). HBM은 다이를 수직으로 여러 장 쌓아 대역폭을 확보한다.
검사 포인트
범프 접합 불량 · HBM 스택 정렬 · 보이드(void)
이 단계의 주요 플레이어
CamtekKLA
평면 기준(flat) 휨(warpage)
CoWoS 패키지FC-BGA 기판솔더볼
⑤ FC-BGA 기판·최종 외관
휨(warpage)은 특정 부품 하나가 아니라, CoWoS 패키지 + FC-BGA 기판이 붙은 조립체 전체가 열팽창 차이(CTE mismatch)로 휘는 현상이다. 그림의 점선(평면 기준)에서 벗어난 편차가 곧 휨량 — 실리콘(패키지)과 유기 기판의 소재 차이가 클수록, 패키지가 커질수록 커진다.
검사 포인트
조립체 warpage(평면도) · 외관 결함 · 기판 외층
이 단계의 주요 플레이어
인텍플러스Camtek
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